退火爐是用于制造半導(dǎo)體器件的過程，該過程包括加熱多個半導(dǎo)體晶片以影響其電性能。 熱處理旨在實現(xiàn)不同的效果。 可以加熱晶圓以激活摻雜劑，將薄膜轉(zhuǎn)化為薄膜，或者將薄膜轉(zhuǎn)化為晶圓基材界面，制成致密沉積的薄膜，改變生長薄膜的狀態(tài)，修復(fù)注入的損傷，移動晶圓。 摻雜劑或改變摻雜劑試劑從一層膜轉(zhuǎn)移到另一層，或從膜轉(zhuǎn)移到晶圓基板中。 退火爐的主要功能體現(xiàn)在以下四個方面：

1。 改善或消除鑄鋼，軋制，鍛造和焊接引起的各種結(jié)構(gòu)缺陷和殘余應(yīng)力，并避免工件變形和開裂。

2，為終的熱處理（淬火，回火）做好準備。

3。 細化晶粒并改善結(jié)構(gòu)以改善工件的機械性能。

4。 軟化工件以利于切割。

退火爐的常見分類如下：

1。 退火爐分為三種類型：電加熱，油加熱和氣體加熱。 它們是電加熱退火爐，燃料退火爐和天然氣退火爐。

2，將退火爐分為不同的爐體結(jié)構(gòu)，例如車式退火爐，凹坑式退火爐，箱式退火爐和鐘罩式退火爐。

3。 退火爐也可以分為真空退火爐，受控氣氛退火爐和在自然氣氛中加熱的退火爐。